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Offener Ofen — Wachstumsofen für Siliziumkarbidkristalle durch physikalischen Dampftransport

Offener Ofen — Wachstumsofen für Siliziumkarbidkristalle durch physikalischen Dampftransport
Ein geöffneter Industrieofen zeigt eine Graphittiegel-Baugruppe, einen dunkelgrünen Siliziumkarbid-Keimkristall, feuerfeste Isolierung und eine Edelstahlwerkbank in einer Halbleitermaterialanlage.

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